1｜Diskusija par alumīnija oksīdu un tā pielietojumiem Alumīnija oksīda keramika tās izolācijas, augstas temperatūras izturības, nodilumizturības, korozijas izturības un augstas ķīmiskās stabilitātes dēļ tiek plaši izmantota tādās jomās kā pusvadītāji, jauna enerģija un augstākās klases elektronika. Jo īpaši alumīnija oksīda keramika var labi pielāgoties ekstremālām vidēm, piemēram, vakuumam un augstām temperatūrām, padarot to piemērotu kā izejmateriālu procesa komponentiem pusvadītāju iekārtās. Ar izciliem materiāliem vien nepietiek; šiem materiāliem ir nepieciešamas arī izcilas apstrādes metodes augstākās klases iekārtās vai procesos, lai pilnībā realizētu to īpašības un sasniegtu lielākus sasniegumus precīzā ražošanā. Piemēram, gāzes sprauslām, ko izmanto pusvadītāju iekārtās, ir nepieciešama spēcīga izturība pret koroziju, ko parasti panāk ar alumīnija oksīda keramikas materiāliem. Lai sprausla varētu sasniegt optimālu vadības veiktspēju, ir nepieciešama precīza mikro-caurumu apstrādes tehnoloģija, lai izveidotu labu mikro-caurumu struktūru, kas ļauj precīzi kontrolēt gāzes/šķidruma plūsmas ātrumu un tilpumu. Tāpēc attiecības starp alumīnija oksīdu un labām apstrādes metodēm ir savstarpēji pastiprinošas.
2｜ Alumīnija oksīda mikroporu apstrādes apspriešana Keramikas apstrāde vienmēr ir bijusi izaicinājums. Pirmkārt, tas ir ciets un trausls materiāls; izmantojot tradicionālās mehāniskās urbšanas metodes, viegli rodas mikro-plaisas un šķembas, tāpēc ir grūti nodrošināt ražu. Otrkārt, tas ir izolācijas materiāls un nav -vadošs, tāpēc nevar izmantot augstas-precizitātes elektriskās izlādes apstrādi. Pirms femtosekundes lāzeru parādīšanās augstas-precizitātes un augstas kvalitātes-alumīnija oksīda keramikas mikroporu apstrāde bija grūts uzdevums. Tas nozīmē, kā var novērtēt augstu precizitāti un augstu kvalitāti? Citiem vārdiem sakot, kā mēs novērtējam, vai mikroporu apstrādes rādītāji ir labi vai slikti? Es uzskatu, ka ir divi aspekti: mikroporu izmērs un mikroporu morfoloģija.
1. Mikroporu izmērs ietver: cauruma diametru un tā precizitāti, apaļumu, konusu utt. Šie trīs indikatori galvenokārt atspoguļo mikroporu trīsdimensiju izmēru, savukārt precizitāte atspoguļo novirzi starp ideālo vērtību un faktisko vērtību, ko var sasniegt ar apstrādes tehnoloģiju.
2. Mikroporu morfoloģija ietver: virsmas morfoloģiju un sānu sienu morfoloģiju. Šie divi indikatori galvenokārt pārbauda, vai cauruma ieejai un iekšējai sienai ir pārkausēts slānis, šķembas, šļakatas, plaisas vai virsmas gludums. Šie indikatori ietekmē gaismas staru, gāzu un šķidrumu iekļūšanu, kā arī produkta uzticamību un kalpošanas laiku.
3｜ Alumīnija oksīda Femtosekundes lāzera apstrādes apspriešana Femtosekundes lāzers kā visprogresīvākā -mikrocaurumu apstrādes tehnoloģija uzrāda būtiskas priekšrocības alumīnija oksīda apstrādē. Pateicoties ļoti-īsajam impulsa platumam un ārkārtīgi lielajai maksimālajai jaudai, tas var notīrīt jebkuru cietu materiālu, neizejot cauri kausējuma stāvoklim. Kopā ar mikrometru-mēroga smalko gravējumu, mikrocaurumi ir ļoti precīzi un izcili apaļi. Turklāt femtosekundes lāzeru aukstā apstrāde novērš atkārtotu slāņu veidošanos, mikroplaisu veidošanos uz alumīnija oksīda virsmas vai iekšējām sienām, kā arī neizraisa materiāla dzeltēšanu vai melnēšanu. Citiem vārdiem sakot, neatkarīgi no apstrādes metodes vai alumīnija oksīda keramikas sastāva attiecības, femtosekundes lāzeri var sasniegt īpaši -augstu precizitāti, kvalitatīvu{9}}mikrocaurumu apstrādi. Pašlaik femtosekundes lāzeri var sasniegt mikrocaurumu apstrādi ar minimālo diametru 0,02 mm (biezums 0,2 mm) un precizitāti ± 1 μm robežās. Vai jūs zināt kādas citas tehnoloģijas, ar kurām var panākt šādu mikrocaurumu apstrādi?
