Kā mēs visi zinām, pasaulē ir tikai viens ražotājs, kas var ražot EUV litogrāfiju, tas irNīderlandes ASML.
Iemesls, kāpēc pasaulē ir tikai viens ražotājs, ir tas, ka ASML ir saista kopā daudzus galvenos ražotājus, piemēram, Zeiss (Zeiss), Vācijas optikas uzņēmumu, Cymer (ASV) unTRUMPF (Vācija).
ASML ir piesaistījis šos ražotājus saviem ratiem, investējot, iegādājoties, iegūstot akcijas, izveidojot pētniecības centrus un tā tālāk, un šie ražotāji, iespējams, ir vienīgie ražotāji pasaulē, kas var ražot šos produktus, tāpēc galu galā tikai ASML pasaulē var ražot EUV litogrāfiju.
Tomēr nesen ASML galvenā piegādes ķēde devās uz Šeņdženu, Ķīnu, lai būvētu rūpnīcu, un tās Šeņdžeņas meitasuzņēmums apmetās Baoanas Ķīnas un Vācijas (Eiropas) industriālo demonstrāciju parkā.
Šis ražotājs ir Vācijas TRUMPF grupa (TRUMPF), tā ir ASML EUV litogrāfija, pasaulē vienīgais lāzeravota piegādātājs.
Cik svarīgi ir TRUMPF produkti EUV litogrāfijā? Vispirms klausieties, kā es paskaidroju EUV litogrāfijas principu, jūs sapratīsit.
Vienkāršoti sakot, EUV litogrāfijas princips ir vērsts uz trim galvenajām sistēmām: EUV ultravioletās gaismas avotu sistēmu, objektīvu spoguļu sistēmu un galda sistēmu.
Īpašais process ir izmantot lāzeru, lai ierosinātu 13,5 nm ekstremālās ultravioletās gaismas viļņa garumu, kas pēc tam tiek koriģēts, veidojot kontrolētu gaismas staru kūli, kas pēc tam tiek projicēts uz fotomaskas galda, pirms tiek projicēts caur objektīvu spoguli uz ekspozīcijas galda. un visbeidzot iegravēts ķēdē uz silīcija plāksnītes, kas pārklāta ar fotorezistu.
Kā tiek iegūta viena no EUV UV gaismas avotu sistēmām, bombardējot alvas (Sn) metāla pilienu ar 30 kW jaudas CO2 lāzeru, iztvaicējot to plazmā un beidzot iegūstot EUV gaismu ar viļņa garumu 13,5 nm.
Šo 30 kW CO2 lāzeru piegādā TRUMPF, vienīgais pasaulē.
Nenovērtējiet par zemu šo CO2 lāzeru, tajā ir 457 329 daļas, kabeļa garums sistēmā ir līdz 7 322 metriem, bet svars ir 17 090 kg, kas ir viena no svarīgākajām EUV litogrāfijas galvenajām sastāvdaļām.
Tagad TRUMPF skrēja uz Ķīnu, lai izveidotu rūpnīcu, nodoms ir skaidrs, tas ir, optimistisks par Ķīnas lāzeru tirgu un vēl vairāk ilgtermiņa skatījums, optimistisks par Ķīnas litogrāfijas tirgu, nākotnē var sadarboties ar Ķīnu, lai izveidotu EUV litogrāfiju. .
Faktiski jau ir vairāk nekā viena ASML piegādes ķēde, kas darbojas uz Ķīnu, lai būvētu rūpnīcu, ir KMWE un citi ražotāji, arī uz Ķīnu, lai izveidotu rūpnīcu.
Saskaņā ar pašreizējo tendenci, mēs varam optimistiski sagaidīt, ka tas var nebūt ilgs laiks, pirms Ķīnas litogrāfijas tehnoloģija būs liels solis uz priekšu, un pat EUV litogrāfijas produkcijas apjoms var arī gaidīt, vai jūs domājat?
