Nesen Šanhajas Mikrosistēmas institūts un Ķīnas Zinātņu akadēmijas informācijas tehnoloģijas ir izstrādājuši augstas veiktspējas MEMS ātri atstarojošu spoguli ar integrētiem leņķa sensoriem . Spogulim ir liela izmēra, neliels iepakojuma apjoms, lielisks sniegums un liels potenciāls lāzera satelīta sakaru .}}}}}}}}}}}}}}}}}}} Žurnāls, kas nesen
Ātri atstarojošais spogulis prasīja gandrīz piecus gadus, lai izstrādātu ., tas izmanto divslāņu neviendabīgu integrāciju un vafeļu līmeņa savienošanas tehnoloģiju, un tā skaļums ir tikai 1- Yuan monētas . lielums.
Tas pārvar tradicionālo mehānisko strauji atspoguļojošo spoguļu un oriģinālo MEMS ātri atspoguļojošo spoguļu tehniskos sašaurinājumus, izveidojot kosmosa kvalitātes produktu ar μRAD norādes precizitāti, atbilstot ultra-augstiem veiktspējas rādītājiem, kas saistīti ar satelītiem saturošu lietojumprogrammu .}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} veiktspējas rādītājus .}}}}}}}}}}}} veiktspējas rādītājus ..
Iedvesmojoties no mobilā tālruņa ekrāna, komanda izmantoja silīcija pjezoresistiskā spriedzes principu, lai integrētu mikroshēmas leņķa sensorus, un ar strukturālu inovācijas palīdzību jutīgums tika palielināts par 63%, optimizējot staru vadības precizitāti .}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}. precizitāte, optimizējot precizitāti .}}}}}} . . precizitāte ..
Pārbaudes rezultāti parāda, ka noteiktā frekvencē leņķa precizitāte atbilst standartam, un maksimālā dinamiskā virsmas deformācija ir tikai 2 nanometri .
Amatpersona veidoja analoģiju, kas ir līdzvērtīga visiem spogulim, kas ir futbola laukuma lielums, nepārsniedzot matu diametru, atbilstot tālsatiksmes satelīta lāzera sakariem uz spoguļa virsmas {.}}}} {}}}} prasības .}}} prasības
