Saskaņā ar substrāta materiāla īpašībām, substrāta virsmas precizitāti, virsmas raupumu un daļiņveida piesārņotāju veidiem, pašreizējās lāzera tīrīšanas metodes var iedalīt šādās divās kategorijās.
1) Lāzera ķīmiskā tīrīšanas metode. Lāzera tieši apstaro virsmu objekta, piesārņo daļiņas vai absorbē enerģiju uz virsmas, un pēc tam padara daļiņas atstāt virsmu ar siltuma difūziju, foto sadalīšanos un gazifikāciju.
2) Lāzera mitrās tīrīšanas metode. Izsmidziniet kādu nepiesārņotu šķidrumu (galvenokārt ūdeni, dažreiz spirtu) uz tīrāmā materiāla virsmas un pēc tam apstarot to ar lāzeru. Pēc lāzera enerģijas absorbcijas šķidrā vide radīs sprādzienbīstamu iztvaikošanu un izstums piesārņojuma daļiņas ap to prom no materiāla virsmas. Turklāt ir ierosināta tā sauktā lāzera savienojumu tīrīšanas metode. Lāzera enerģiju absorbē substrāta materiāls, un pēc tam adsorbētā starpproduktu silda ar termisku konvekcijas palīdzību, un starpprodukts rada sprādzienbīstamu iztvaikošanu. Darbina augsta gaisa plūsma, daļiņas ir atdalītas no substrāta virsmas kopā ar vidēju barotni.
